ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) غاز عالي النقاء
المعلومات الأساسية
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
ما هي هذه المادة؟
ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) هو غاز عديم اللون والرائحة في درجة حرارة الغرفة والضغط الجوي. يمكن تسييله تحت ضغط معتدل. NF3 مستقر في الظروف العادية ولا يتحلل بسهولة. ومع ذلك، يمكن أن تتحلل عند تعرضها لدرجات حرارة عالية أو في وجود محفزات معينة. يتمتع NF3 بقدرة عالية على الاحتباس الحراري (GWP) عند إطلاقه في الغلاف الجوي.
أين تستخدم هذه المادة؟
عامل التنظيف في صناعة الإلكترونيات: يستخدم NF3 على نطاق واسع كعامل تنظيف لإزالة الملوثات المتبقية، مثل الأكاسيد، من أسطح أشباه الموصلات، ولوحات عرض البلازما (PDPs)، والمكونات الإلكترونية الأخرى. يمكنه تنظيف هذه الأسطح بشكل فعال دون الإضرار بها.
غاز النقش في تصنيع أشباه الموصلات: يستخدم NF3 كغاز نقش في عملية تصنيع أشباه الموصلات. وهو فعال بشكل خاص في حفر ثاني أكسيد السيليكون (SiO2) ونيتريد السيليكون (Si3N4)، وهي مواد شائعة تستخدم في تصنيع الدوائر المتكاملة.
إنتاج مركبات الفلور عالية النقاء: يعتبر NF3 مصدرا قيما للفلور لإنتاج مختلف المركبات المحتوية على الفلور. يتم استخدامه كمقدمة في إنتاج البوليمرات الفلورية، والفلوروكربونات، والمواد الكيميائية المتخصصة.
توليد البلازما في تصنيع شاشات العرض المسطحة: يستخدم NF3 مع الغازات الأخرى لإنشاء البلازما في إنتاج شاشات العرض المسطحة، مثل شاشات الكريستال السائل (LCD) وPDPs. تعد البلازما ضرورية في عمليات الترسيب والحفر أثناء تصنيع الألواح.
لاحظ أن التطبيقات واللوائح المحددة لاستخدام هذه المادة/المنتج قد تختلف حسب البلد والصناعة والغرض. اتبع دائمًا إرشادات السلامة واستشر أحد الخبراء قبل استخدام هذه المادة/المنتج في أي تطبيق.
